仪器名称: | 三维原子探针 | 厂商: | CAMECA |
型号: | LEAP-5000XP |
购进年份: | 2017 |
联系人email: | test@ustbtest.com | 联系电话: | (010) 6233 3720 |
性能参数: |
最低样品温度:25 K 离子收集率:50% 激光能量:1-1000 pJ 空间分辨率:0.1 nm 环形视场(Al,nm):> 150 最高脉冲频率:500 kHz 最大数据采集速率:4M ions/min 背底真空(分析室,Torr): < 1×10-10 质量分辨率: 1000 (半高峰宽);475 (10%峰宽); 275(1%峰宽) |
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功能用途: | 金属等导电材料,高电阻半导体、氧化物等非导电材料的三维元素分布。 |